據(jù)外媒報(bào)道，近日，ASML發(fā)言人Monique Mols向媒體提及，ASML首席財(cái)務(wù)官Roger Dassen已確認(rèn)今年年底前將向英特爾和臺(tái)積電運(yùn)送兩臺(tái)High-NA EUV光刻機(jī)。
英特爾早在2022年便宣布購(gòu)買(mǎi)了5臺(tái)此類(lèi)設(shè)備(型號(hào)為T(mén)WINSCAN NXE:3600D)，旨在為2025年生產(chǎn)的 Intel 18A 芯片做準(zhǔn)備。據(jù)了解，三星和SK海力士明年也將得到High-NA EUV光刻機(jī)，預(yù)計(jì)在2025年下半年。
此前有報(bào)道稱(chēng)，一臺(tái)High-NA EUV光刻機(jī)的價(jià)格大概為3.8億美元，是EUV（約1.83億美元）的兩倍多，目前ASML每年High-NA EUV光刻機(jī)的產(chǎn)能大概在5到6臺(tái)，收到的訂單數(shù)量在10至20臺(tái)之間。
